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芯片指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分,一般是指集成电路的载体,承担着运算和存储的功能;也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果,通常是一个可以立即使用的独立的整...
工艺流程,1,表面清洗晶圆表面附着一层大约2um的Al2O3和甘油混合液保护之,在制作前必须进行化学刻蚀和表面清洗,2,初次氧化,有热氧化法生成SiO2,缓冲层,用来减小后续中Si3N4对晶圆的应力氧...